التقنيات:
- تكنولوجيا التحكم للمحمل المغناطيسي: 5 محاور ترفع مغناطيسيًا ، استنادًا إلى نظرية التحكم الدولية المتقدمة ، لضمان مثل هذه المزايا المهمة للمحور عالي السرعة مثل التشغيل المستقر والموثوق.
- تقنية التحكم في محرك المحرك: محرك DC عالي السرعة وعالي السرعة ونظام تحكم مؤازر ، يتمتعان بأقصى طاقة للمحرك ولتعويض سرعة دوران المحور تلقائيًا ، وبالتالي تحقيق بدء تشغيل مستقر وتشغيل موثوق ووظيفة تنظيم تلقائية للطاقة الديناميكية.
- تكنولوجيا الدوار المركب من ألياف الكربون: مصنوعة من خلال تركيب سبائك الألومنيوم عالية القوة وألياف الكربون خفيفة الوزن. يتميز بتخفيض كبير في الوزن وتحسين كبير للقوة ، بحيث يتم تحقيق أهداف سرعة الدوران العالية والأداء العالي والموثوقية العالية.
- تقنية مقاومة التآكل: تتم معالجة أسطح الأجزاء في الغرف بعملية خاصة ، بحيث يمكن للأسطح مقاومة التآكل الناجم عن الغازات المسببة للتآكل في عمليات تصنيع أشباه الموصلات لفترة طويلة. بالإضافة إلى ذلك ، تمتلئ الغازات الخاملة مثل N2 بالكامل في عمود المضخات لحماية أجزاء الفراغ المنخفضة في المضخات ، بحيث تتحقق وظيفة استنفاد الغازات المسببة للتآكل بشكل ثابت لفترات طويلة.
- نظام التحكم في درجة حرارة التدفئة: مجهزة بسخان كهربائي وجهاز تحكم في درجة الحرارة ، ومياه التبريد ، وتسخين الهواء العظمي ، والتدفئة الكهربائية والحرارة التي تحملها غازات واقية يمكن مراقبتها والتحكم فيها أثناء التشغيل ، ويمكن الحفاظ على درجة الحرارة في المضخات عند بعض القيمة على المدى الطويل ، وبعضها غازي لا يتم تحويل المواد إلى مواد صلبة عند درجة الحرارة العادية ولا تترسب في المضخات ، ويمكن تلبية متطلبات العملية الخاصة مثل النقش.
مزايا:
تتميز هذه المضخات بمزايا ، مثل عدم الاحتكاك أثناء التشغيل ، وانخفاض استهلاك الطاقة ، وسهولة الحصول على فراغ عالي ونظيف حقًا وفراغ عالي جدًا بدون تزييت للمضخات ، وقادرة على استخراج الغازات المسببة للتآكل على المدى الطويل ، وسلامة عالية وعمر خدمة طويل بسبب الحماية المحامل بكرات سيراميك دقيقة ووظيفة توليد الطاقة في حالة انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ. لها مزايا خالية من الاحتكاك والتلوث والصيانة وذات اهتزازات منخفضة ، ويمكن تثبيتها في أي اتجاه.
التطبيقات:
استخراج الغازات المسببة للتآكل الموجودة في حفر الحفر ، و CVD ، و PVD ، وغرس الأيونات والغازات التي تتخثر بسهولة في درجة الحرارة العادية في مجالات تصنيع أشباه الموصلات ، وتصنيع القصاصات ، والطلاء الصناعي ، والأدوات العلمية ، خاصةً.
تحديد:
نموذج |
CXF-250/2301 |
سرعة المضخة (لتر / ثانية ، هواء) |
2200 |
نسبة الضغط |
> 1 × 107 |
الفراغ النهائي (باسكال) |
≤2 × 10-7 |
مدخل شفة |
DN250 ISO F |
DN250 CF |
شفة المخرج |
KF 40 |
سرعة الدوران (دورة في الدقيقة) |
30000 |
وقت التشغيل (دقيقة) |
8 |
VIB (مم) |
<0.05 |
مضخة دعم (L / s) |
15 |
تصاعد أو ientation |
أي |
طريقة التبريد |
ماء |
الوزن (كجم) (مع جهاز التحكم) |
58 |