مضخة رفع مغناطيسي ، CXF-320 / 3001E ، تبريد مائي ، ISO-F ، على متن الطائرة
المضخات الجزيئية التي يتم رفعها مغناطيسيًا هي المضخات التي يتم دعم محورها بواسطة القوة المغناطيسية.
سلسلة المضخات الجزيئية التي يتم رفعها مغناطيسيًا عبارة عن معدات توليد فراغ طورتها KYKY لتلبية متطلبات التطبيق في مجالات تصنيع أشباه الموصلات الحديثة وتصنيع الرقائق والطلاء الصناعي والأدوات العلمية.
مزايا:
1. عدم الاحتكاك أثناء التشغيل ، وانخفاض استهلاك الطاقة
2. من السهل الحصول على فراغ عالي ونظيف للغاية وفراغ عالي بدون تزييت للمضخات
3. قادرة على استخراج الغازات المسببة للتآكل على المدى الطويل
4. سلامة عالية وعمر خدمة طويل بسبب حماية المحامل بكرات السيراميك الدقيقة
5. وظيفة توليد الطاقة في حالة انقطاع التيار الكهربائي المفاجئ
6. خالية من الاحتكاك
7. خالية من التلوث
8. خالية من الصيانة
9. اهتزاز منخفض
10. مثبتة في أي اتجاه.
التطبيقات:
يتم تطبيق المضخات الجزيئية التي يتم رفعها مغناطيسيًا بشكل أساسي في مجالات تصنيع أشباه الموصلات ، وتصنيع القصاصات ، والطلاء الصناعي ، والأدوات العلمية ، وخاصة لاستخراج الغازات المسببة للتآكل الموجودة في حفر الحفر ، و CVD ، و PVD ، وغرس الأيونات والغازات التي تتخثر بسهولة في درجة الحرارة العادية.
تحديد:
| نموذج | CXF-320 / 3001E |
| سرعة المضخة (لتر / ثانية ، هواء) | 3200 |
| نسبة الضغط | > 1 × 108 |
| الفراغ النهائي (باسكال) | ≤5 × 10-7 |
| مدخل شفة | ISO-F 320 |
| شفة المخرج | KF 40 |
| سرعة الدوران (دورة في الدقيقة) | 24000 |
| وقت التشغيل (دقيقة) | 12 |
| VIB (مم) | <0.05 |
| مضخة دعم (L / s) | 15 |
| تصاعد أو ientation | أي |
| طريقة التبريد | ماء |
| الوزن (كجم) (مع جهاز التحكم) | 75 |
التقنيات:
- تكنولوجيا التحكم للمحمل المغناطيسي: 5 محاور ترفع مغناطيسيًا ، استنادًا إلى نظرية التحكم الدولية المتقدمة ، لضمان مثل هذه المزايا المهمة للمحور عالي السرعة مثل التشغيل المستقر والموثوق.
- تقنية التحكم في محرك المحرك: محرك DC عالي السرعة وعالي السرعة ونظام تحكم مؤازر ، يتمتعان بأقصى طاقة للمحرك ولتعويض سرعة دوران المحور تلقائيًا ، وبالتالي تحقيق بدء تشغيل مستقر وتشغيل موثوق ووظيفة تنظيم تلقائية للطاقة الديناميكية.
- تكنولوجيا الدوار المركب من ألياف الكربون: مصنوعة من خلال تركيب سبائك الألومنيوم عالية القوة وألياف الكربون خفيفة الوزن. يتميز بتخفيض كبير في الوزن وتحسين كبير للقوة ، بحيث يتم تحقيق أهداف سرعة الدوران العالية والأداء العالي والموثوقية العالية.
- تقنية مقاومة التآكل: تتم معالجة أسطح الأجزاء في الغرف بعملية خاصة ، بحيث يمكن للأسطح مقاومة التآكل الناجم عن الغازات المسببة للتآكل في عمليات تصنيع أشباه الموصلات لفترة طويلة. بالإضافة إلى ذلك ، تمتلئ الغازات الخاملة مثل N2 بالكامل في عمود المضخات لحماية أجزاء الفراغ المنخفضة في المضخات ، بحيث تتحقق وظيفة استنفاد الغازات المسببة للتآكل بشكل ثابت لفترات طويلة.
- نظام التحكم في درجة حرارة التدفئة: مجهزة بسخان كهربائي وجهاز تحكم في درجة الحرارة ، ومياه التبريد ، وتسخين الهواء العظمي ، والتدفئة الكهربائية والحرارة التي تحملها غازات واقية يمكن مراقبتها والتحكم فيها أثناء التشغيل ، ويمكن الحفاظ على درجة الحرارة في المضخات عند بعض القيمة على المدى الطويل ، وبعضها غازي لا يتم تحويل المواد إلى مواد صلبة عند درجة الحرارة العادية ولا تترسب في المضخات ، ويمكن تلبية متطلبات العملية الخاصة مثل النقش.