مزايا:
هذه السلسلة من المضخات جيدة في الأداء في ظل البيئة القاسية (درجة حرارة عالية ، غبار ، إلخ) ، مستقرة في الأداء وعمر خدمة طويل ، وصيانة بسيطة وتشغيل مريح أيضًا.
التطبيقات:
التطبيقات الرئيسية في الكشف عن التسرب الصناعي ، PVD ، CVD ، غرس الأيونات ، تصنيع المكونات الإلكترونية بالفراغ ، الزجاج المنخفض E ، زجاج ITO ، الطلاء البصري ، الخلايا الشمسية ، لحام شعاع الإلكترون ، فرن الفراغ وغيرها من الصناعات
تحديد:
شفة (في) | DN400 ISO-K | الغاز في جميع أنحاء (Sccm) | N25500 ينًا |
شفة (خارج) KF | DN100 | انه : 4000 | |
سرعة الضخ (L / s) | N23500 ينًا | H23200 ينًا | |
انه : 2650 | Ar : 2100 | ||
H21280 | سرعة الدوران (دورة في الدقيقة) | 13500 | |
Ar : 3200 | وقت التشغيل (دقيقة) | ≤18 | |
نسبة الضغط | N2: 108 | نوع التبريد ، قياسي | ماء |
هو : 103 | استهلاك مياه التبريد (لتر / دقيقة) | ≥1 | |
H2: 102 | درجة حرارة مياه التبريد (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | توصيل الطاقة: الجهد (V AC) | DC24 / AC220 | |
الضغط الأقصى (باسكال) | 6 × 10-6 | أقصى استهلاك للطاقة (W) | ≤1100 |
الأعلى. ضغط الفراغ المستمر (Pa) | 100 | نموذج تحكم | FD-III |
الأعلى. ضغط الفراغ الأمامي | N2300 ين ياباني | الوزن (كلغ) | 130 |